Přejít k obsahu


Formation of metastable zirconium oxides using pulsed laser deposition of ZrO based target

Citace:
KŘENEK, T., MIKYSEK, P., POLA, M., VÁLA, L., MELARÉ, E., JANDOVÁ, V., VAVRUŇKOVÁ, V., RIEGER, D. Formation of metastable zirconium oxides using pulsed laser deposition of ZrO based target. In IOP Conference Series: Materials Science and Engineering. Bristol: Institute of Physics Publishing, 2019. s. NESTRÁNKOVÁNO. ISBN: neuvedeno , ISSN: 1757-8981
Druh: STAŤ VE SBORNÍKU
Jazyk publikace: eng
Anglický název: Formation of metastable zirconium oxides using pulsed laser deposition of ZrO based target
Rok vydání: 2019
Místo konání: Bristol
Název zdroje: Institute of Physics Publishing
Autoři: doc. Ing. Tomáš Křenek Ph.D. , Petr Mikysek , Michal Pola , Mgr. Lukáš Vála , Estela Melaré , Věra Jandová , Ing. Veronika Vavruňková Ph.D. , Ing. David Rieger
Abstrakt CZ: Zájem o možnosti přípravy různých oxidů zirkonia z vědeckého i aplikačního hlediska roste. Laserová ablace pevného terče sestávajícího ze slinutých zrn kovového hexagonálního Zr3O a monoklinického ZrO2 vede k odpařování Zr, O částic (iontů, atomů) a následné depozice Zr-O filmu. Jako substráty byly použity Ta a Cu. Filmy byly analyzovány pomocí SEMEDX, Ramanovy a FTIR spektroskopie a rentgenové difrakce. SEM analýza odhalila kontinuálním povlak a kruhovité objekty o velikosti μm / sub-μm. Pomocí Ramanovy spektroskopie byly detekovány široké píky, které mohou naznačovat částečnou laserem indukovanou amorfizaci Zr-O depozitu. FTIR spektroskopie ukazuje pásy, které lze přiřadit vibracím Zr-O nanostrukturovaného oxidu zirkoničitého. Rentgenová difrakční analýza poskytuje jasnější přiřazení deponovaných fází, kde depozice na Ta vykazuje přítomnost monoklinické Zr02, rhombohedrické Zr03 s nedostatkem kyslíku a zajímavě ukazuje přítomnost vysokotlaké ortorombické fáze Zr02. Povlak na Cu sestává z monoklinické Zr02, rhombohedrické Zr30 a metastabilní tetragonální Zr02 fáze.
Abstrakt EN: There is a growing interest about the possibilities for preparation of various zirconium oxides from scientific as well asapplication point of view. Laser ablation of solid target consisting of sintered grains of metallic hexagonal Zr3O and monoclinic ZrO2 results in evaporation of Zr, O species (ions, atoms) and subsequent deposition of Zr-O film. Ta and Cu have been used as substrates. The films were analyzed by SEM-EDX, Raman and FTIR spectroscopy and X-ray diffraction. SEM analysis revealed μm/sub-μm sized roundshape and ring-like objects on continuous coat. Using Raman spectroscopy broad peaks which can suggest partial laser induced amorphization of Zr-O deposits were detected. FTIR spectroscopy shows bands which are assignable to Zr-O vibration of nanostructured zirconia. X-ray diffraction analysis provides more explicit assignment of deposited phases where the deposit on Ta exhibits presence of monoclinic ZrO2, oxygen deficient rhombohedric Zr3O and interestingly indicates presence of high-pressure orthorhombic ZrO2 phase. The coat on Cu consists of monoclinic ZrO2, rhombohedric Zr3O, and metastable tetragonal ZrO2 phase.
Klíčová slova

Zpět

Patička