Přejít k obsahu

Systémy pro vývoj nových materiálů a měření jejich vlastností

Depoziční technika

  • aparatura TF 600 BOC Edwards na depozici tenkých vrstev naprašováním a napařováním elektronovým paprskem, vybavena dvěma magnetrony DC a RF a čtyřkelímkovým odpařovačem pro elektronový paprsek.
  • aparatura na plazmou podporovanou chemickou depozici SAMCO PD 220NA s možností vytváření vrstev sloučenin obsahujících křemík a amorfní hydrogenizovaný křemík

Analytická technika

  • automatický práškový difraktometr AXS Bruker D8 Discover s plošným, pozičně citlivým detektorem, polykapilárou a Eulerovou kolébkou.
  • automatický práškový difraktometr Panalytical X’Pert PRO s rychlým lineárním polovodičovým detektorem PIXcel, přípravkem na měření tenkých vrstev a vysokoteplotní komorou Anton Paar HTK 1200 N
  • vlnově disperzní fluorescenční RTG spektrometr AXS Bruker S4 Explorer
  • řádkovací elektronový mikroskop FEI Quanta 200 s vlnově disperzním a energiově disperzním detektorem
  • nanoIndentor XP se systémem CSM (Continuous Stiffness Measurement) a Berkovičovým indentorem
  • optický inverzní metalografický mikroskop Nikon Epiphot 200 se softwarem pro obrazovou analýzu LUCIA G od firmy Lim
  • infračervený spektrometr s Fourierovou transformací NICOLET 380 s přípravkem Smart SAGA na měření ultratenkých vrstev (~ 10nm)
  • UV VIS spektrofotometr SPECORD 210 s integrační sférou a přípravkem na absolutní reflektanci
  • vysokoteplotní tribometr CSEM s metodou Pin-on-disc a možností měření do teploty 800°C
  • profilometr MOMMEL T 1000
  • zařízení na měření rezistivity materiálů a typu vodivosti polovodičů s čtyřsondovou lineární i kvadratickou hlavou, vybavené měřícími přístroji firmy Keithley

Patička